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阴极发光是一种光谱（pǔ）分析方法，通（tōng）过电子（zǐ）束轰击材料产生发光后，用来在局部范围内鉴（jiàn）别材料中的点缺陷和杂质缺陷（xiàn），应（yīng）用于微电子，半（bàn）导体材（cái）料，绝缘体，地（dì）质（zhì）学和矿物学（xué）等（děng）领域。
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